วันที่เผยแพร่: 10 พฤษภาคม 2020 วันที่อัปเดต: 7 ตุลาคม 2024
การแก้ไขปัญหาทั่วไปเกี่ยวกับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (ก่อนกระบวนการ)
เครื่องจักรทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์
กระบวนการทำความสะอาด
จำเป็นต้องมีการป้องกันการกัดกร่อนของส่วนประกอบ
สามารถเลือกสกรูที่มีความทนทานต่อสารเคมีได้ดีกว่า เพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมภายในอุปกรณ์ที่ใช้สารเคมี
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ทนต่อสารเคมี
|
ทนต่อสารเคมี |
ความต้านทานความร้อน |
ไม่ใช่แม่เหล็ก |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|---|
|
สกรูเรซิ่น |
○ |
|||
|
สกรู SUS316L |
○ |
○ |
○ |
|
|
Hastelloy ＊1 สกรู |
○ |
○ |
||
|
สกรูเซรามิก |
○ |
○ |
||
|
เวสเปล ＊2 สกรู |
○ |
○ |
||
|
สกรูเคลือบ PFA สำหรับหัว |
○ |
＊1：Hastelloy เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Haynes International, Inc.
＊2：VESPEL เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ DuPont
ดูรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับสกรูทนสารเคมีได้ที่นี่▶
อุปกรณ์ออกซิเดชั่น/การแพร่กระจาย
การอบชุบด้วยความร้อน/กระบวนการออกซิเดชัน/การแพร่กระจาย
ต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและสารเคมี and
สำหรับสภาพแวดล้อมที่มีการใช้ก๊าซหลายชนิดที่อุณหภูมิสูง ให้เลือกสกรูที่ทนต่อความร้อนและสารเคมีได้ดีเยี่ยม
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ความต้านทานความร้อน ทนต่อสารเคมี
|
ความต้านทานความร้อน |
ทนต่อสารเคมี |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|
|
อินโคเนล ＊1 สกรู |
○ |
○ |
|
|
Hastelloy *2 สกรู |
○ |
○ |
|
|
MAT21 * สกรู 3 ตัว |
○ |
＊1：Inconel เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Special Metals Corporation
＊2：Hastelloy เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Haynes International, Inc.
＊3：MAT และ MAT21 เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Proterial, Ltd.
ช่างเคลือบ/นักพัฒนา
กระบวนการสร้างฟิล์ม
จำเป็นต้องมีการปรับปรุงกำลังการผลิต
ใช้คัปปลิ้งที่มีความแข็งแรงสูงสำหรับการหมุนด้วยความเร็วสูงที่จำเป็นสำหรับการสร้างฟิล์มต้านทานแสงบนเวเฟอร์
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับข้อต่อ：มีความแข็งแรงสูง
|
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|
|
ข้อต่อดิสก์ |
จำเป็นต้องมีการป้องกันการกัดกร่อนของส่วนประกอบ
สามารถเลือกสกรูที่มีความทนทานต่อสารเคมีได้ดีกว่า เพื่อให้ทนทานต่อสภาพแวดล้อมภายในอุปกรณ์ที่ใช้สารเคมี
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ทนต่อสารเคมี
|
ความต้านทานความร้อน |
ทนต่อสารเคมี |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|
|
สกรู อินโคเนล |
○ |
○ |
＊1：Inconel เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Special Metals Corporation
อุปกรณ์การพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์
กระบวนการโฟโตลิโทกราฟี
จำเป็นต้องมีการปรับปรุงความแม่นยำของอุปกรณ์
แม้แต่สกรูขนาดเล็กที่ใช้ที่ข้อต่อยังช่วยให้ความแม่นยำในการรับแสงดีขึ้นโดยยับยั้งอิทธิพลของการสะท้อนกลับ
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ป้องกันแสงสะท้อน
|
ป้องกันแสงสะท้อน |
ทนต่อสารเคมี |
การป้องกันการกำเริบ / การยึด |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|---|
|
สกรูชุบโครเมียมสีดำอุณหภูมิต่ำ |
○ |
○ |
○ |
|
|
สกรูสแตนเลสสีดำ |
○ |
สกรูป้องกันการสะท้อน ดูรายละเอียดเพิ่มเติมที่นี่▶
อุปกรณ์แกะสลัก
กระบวนการแกะสลัก
ต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและสารเคมี and
สำหรับสภาพแวดล้อมที่ใช้ก๊าซและตัวทำละลายหลายชนิดที่อุณหภูมิสูง ให้เลือกสกรูที่ทนความร้อนและทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ความต้านทานความร้อน ทนต่อสารเคมี
|
ความต้านทานความร้อน |
ทนต่อสารเคมี |
สูญญากาศ |
ไม่ใช่แม่เหล็ก |
มีความแข็งแรงสูง |
มีน้ำหนักเบา |
การป้องกันการจับกุม |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
สกรูเซรามิก |
○ |
○ |
||||||
|
สกรูพร้อมฝาปิดเซรามิก |
|
○ |
○ |
|||||
|
Hastelloy ＊1 สกรู |
○ |
○ |
||||||
|
สกรู SUS316L |
○ |
○ |
○ |
|||||
|
สกรูไททาเนียม |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
|||
|
สกรูชุบแข็งพื้นผิว |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Haynes International, Inc.
ต้องป้องกันความเสียหายของมอเตอร์
ส่วนประกอบที่มีคุณสมบัติเป็นฉนวนที่ดีเยี่ยมเป็นสิ่งจำเป็นในการป้องกันกระแสไฟจากตัวเก็บประจุแบบแปรผันสุญญากาศ
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับข้อต่อ：คุณสมบัติของฉนวน
|
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|
|
ข้อต่อสำหรับ Capacitor Variable ตัวแปรสุญญากาศ |
อุปกรณ์ฝังไอออน
กระบวนการฝังไอออน
จำเป็นต้องมีระดับสูญญากาศที่ดีขึ้น
ระดับของสุญญากาศสามารถปรับปรุงเพิ่มเติมได้โดยการเอาอากาศที่ติดอยู่ภายในรูสกรูออก
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：สูญญากาศ
|
สูญญากาศ |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|
|
สกรูพร้อมรูระบายอากาศ |
○ |
ต้องใช้สกรูที่ไม่น้ำดีที่อุณหภูมิสูง
เรามีสกรูที่ป้องกันการแตกร้าวเนื่องจากการหมุนเวียนของความร้อนในสภาพแวดล้อมที่ 1,000 °C หรือสูงกว่า
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ความต้านทานความร้อน
|
ความต้านทานความร้อน |
การป้องกันการจับกุม |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|
|
สกรูชุบแข็งพื้นผิว |
○ |
○ |
จำเป็นต้องมีการปรับปรุงความแม่นยำของอุปกรณ์
ควรใช้ส่วนประกอบที่ไม่ใช่แม่เหล็กสำหรับรัดเพื่อป้องกันไอออนจากการโก่งตัวเนื่องจากคุณสมบัติทางแม่เหล็กของชิ้นส่วน
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ไม่ใช่แม่เหล็ก
ไม่ใช่แม่เหล็ก |
ทนต่อสารเคมี |
มีความแข็งแรงสูง |
มีน้ำหนักเบา |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|---|---|
|
สกรูฟอสเฟอร์บรอนซ์ |
○ |
|
|
||
สกรูไทเทเนียม |
○ |
○ |
○ |
○ |
อุปกรณ์ติดฟิล์ม/อุปกรณ์สปัตเตอร์
กระบวนการสร้างฟิล์ม
ต้องป้องกันความเสียหายของมอเตอร์
ส่วนประกอบที่มีคุณสมบัติเป็นฉนวนที่ดีเยี่ยมเป็นสิ่งจำเป็นในการป้องกันกระแสไฟจากตัวเก็บประจุแบบแปรผันสุญญากาศ
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับข้อต่อ：คุณสมบัติของฉนวน
|
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|
|
ข้อต่อสำหรับ Capacitor Variable Capacitor |
ต้องทนต่ออุณหภูมิสูงและสารเคมี and
สำหรับสภาพแวดล้อมที่มีการใช้ก๊าซหลายชนิดที่อุณหภูมิสูง ให้เลือกสกรูที่ทนต่อความร้อนและสารเคมีได้ดีเยี่ยม
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ความต้านทานความร้อน ทนต่อสารเคมี
|
ความต้านทานความร้อน |
ทนต่อสารเคมี |
ไม่ใช่แม่เหล็ก |
มีความแข็งแรงสูง |
มีน้ำหนักเบา |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
สกรูเซรามิก |
○ |
○ |
||||
|
สกรู SUS316L |
○ |
○ |
○ |
|||
|
สกรูโมลิบดีนัม |
○ |
|||||
|
Hastelloy ＊1 สกรู |
○ |
○ |
||||
|
สกรูนิกเกิล |
○ |
○ |
||||
|
อินโคเนล *2 สกรู |
○ |
○ |
||||
|
สกรูไททาเนียม |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Haynes International, Inc.
＊2：Inconel เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Special Metals Corporation
จำเป็นต้องมีระดับสูญญากาศที่ดีขึ้น
ระดับของสุญญากาศสามารถปรับปรุงเพิ่มเติมได้โดยการเอาอากาศที่ติดอยู่ภายในรูสกรูออก
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：สูญญากาศ
|
สูญญากาศ |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|
|
สกรูพร้อมรูระบายอากาศ |
○ |
อุปกรณ์ตรวจร่างกาย
กระบวนการตรวจสอบ/ประเมินผล
จำเป็นต้องมีระดับสูญญากาศที่ดีขึ้น
ระดับของสุญญากาศสามารถปรับปรุงเพิ่มเติมได้โดยการเอาอากาศที่ติดอยู่ภายในรูสกรูออก
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：สูญญากาศ
|
สูญญากาศ |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|
|
สกรูพร้อมรูระบายอากาศ |
○ |
จำเป็นต้องมีความแม่นยำในการตรวจสอบที่เพิ่มขึ้น
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ไม่ใช่แม่เหล็ก
|
ไม่ใช่แม่เหล็ก |
ความต้านทานความร้อน |
ทนต่อสารเคมี |
มีความแข็งแรงสูง |
มีน้ำหนักเบา |
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
สกรูเรซิ่น：PPS |
○ |
○ |
○ |
|||
|
สกรูไททาเนียม |
○ |
|
○ |
○ |
○ |
|
|
สกรูฟอสเฟอร์บรอนซ์ |
○ |
ดูรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับสกรูที่ไม่ใช่แม่เหล็กได้ที่นี่▶
จำเป็นต้องมีมาตรการรับมือสำหรับการคลายสกรูและการปนเปื้อน
มีกลุ่มผลิตภัณฑ์สกรูหัวจมหกเหลี่ยมที่ไม่ใช่แม่เหล็กให้เลือก
เมื่อเปรียบเทียบกับซ็อกเก็ตแบบเจาะรูและซ็อกเก็ตแบบฝังขวาง รูปร่างของฝาครอบหัวซ็อกเก็ตหกเหลี่ยมมีโอกาสน้อยที่จะเกิดการเบี้ยว ทำให้มีประสิทธิภาพในการป้องกันการปนเปื้อน
ความแข็งแรงสูงของไททาเนียม 64 ยังช่วยขันให้แน่นที่แรงบิดที่สูงขึ้น ทำให้มีประสิทธิภาพในการตอบโต้แบบคลายตัวเช่นกัน
กลุ่มผลิตภัณฑ์สกรูหัวจมหกเหลี่ยมไทเทเนียมและฟอสเฟอร์บรอนซ์ 64 ตัวตั้งแต่ M2 ขึ้นไป
| ภาพ |  |
 |
||
|---|---|---|---|---|
| ชื่อชิ้นส่วน | สกรูหัวจมหกเหลี่ยม - โลหะผสมไทเทเนียมความเข้มสูง |
สกรูหัวจมหกเหลี่ยม - สารเรืองแสงสีบรอนซ์ |
||
| ส่วนจำนวน | SNSTG |
SNSP |
||
| วัสดุ | 64 ไทเทเนียม | C5191(สารเรืองแสงสีบรอนซ์) | ||
| ขนาดเกลียว | M2~M10 | M2~M8 | ||
สกรู มิเนียเจอร์/เบรคเกอร์ขนาดเล็ก ▶
อุปกรณ์ตรวจสอบไฟฟ้า
กระบวนการตรวจสอบ/ประเมินผล
จำเป็นต้องมีการปรับปรุงความแม่นยำของอุปกรณ์
รับรู้ถึงอัตราขยายของเซอร์โวมอเตอร์ที่มากขึ้น ส่งผลให้เวลาในการรักษาเสถียรภาพลดลง
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับส่วนประกอบไดรฟ์：รองรับกำไรสูง
|
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|
|
ข้อต่อยางกำลังสูง |
ต้องการอุปกรณ์ขนาดกะทัดรัดมากขึ้น
เรามีสกรูที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดเล็กตั้งแต่ M2.6 หรือน้อยกว่า รวมถึง S0.6 ขึ้นไปและ M1 ขึ้นไป
ลักษณะที่จำเป็นสำหรับสกรูพิเศษ：ประหยัดพื้นที่
|
ผลิตภัณฑ์ที่แนะนำ |
|
|---|---|
|
สกรูจิ๋ว |
