วันที่เผยแพร่: 15 มิ.ย. 2022 วันที่อัปเดต: 19 ธ.ค. 2023
ลำดับที่ 2: สภาพแวดล้อมสูญญากาศ
เทคโนโลยีสูญญากาศมักใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ไม่จำเป็นต้องใช้เครื่องดูดฝุ่นสำหรับอุปกรณ์ทั้งหมด ส่วนใหญ่จะต้องใช้สูญญากาศสำหรับอุปกรณ์ที่ใช้พลาสมาหรือลำแสงอิเล็กตรอน
ห้องสูญญากาศเป็นกล่องหรือห้องที่ได้รับการแปลงเป็นสภาพแวดล้อมสูญญากาศโดยใช้ปั๊มสุญญากาศ
ในที่นี้ เราขอแนะนำตัวอย่างการใช้สกรูสำหรับอุปกรณ์สูญญากาศ (ผลิตภัณฑ์พิเศษ) ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
ไม่จำเป็นต้องใช้เครื่องดูดฝุ่นสำหรับอุปกรณ์ทั้งหมด ส่วนใหญ่จะต้องใช้สูญญากาศสำหรับอุปกรณ์ที่ใช้พลาสมาหรือลำแสงอิเล็กตรอน
ห้องสูญญากาศเป็นกล่องหรือห้องที่ได้รับการแปลงเป็นสภาพแวดล้อมสูญญากาศโดยใช้ปั๊มสุญญากาศ
ในที่นี้ เราขอแนะนำตัวอย่างการใช้สกรูสำหรับอุปกรณ์สูญญากาศ (ผลิตภัณฑ์พิเศษ) ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
เหตุใดจึงต้องใช้เครื่องดูดฝุ่นสำหรับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
・เพื่อลดสิ่งเจือปนและปรับปรุงคุณภาพการตอบสนอง
การดำเนินการตามกระบวนการต่างๆ เช่น การสร้างฟิล์มและการกัดในสุญญากาศที่มีสิ่งสกปรกเพียงเล็กน้อยช่วยให้ได้การบำบัดที่มีคุณภาพสูงขึ้น
・เพื่อลดจุดเดือด
การลดจุดเดือดทำให้เวเฟอร์ได้รับการรักษาที่อุณหภูมิต่ำ
แผ่นเวเฟอร์มีแนวโน้มที่จะเปลี่ยนรูปได้น้อยกว่าเมื่อควบคุมการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
สุดท้าย ไม่จำเป็นต้องสร้างหรือออกแบบอุปกรณ์การผลิตให้ทนต่ออุณหภูมิสูง
・เพื่อสร้างพลาสม่า
แรงดันที่ต่ำกว่ายังหมายความว่ากระแสไฟฟ้าที่ใช้สามารถลดลงได้
สูญญากาศยังช่วยให้สามารถสร้างพลาสมาในก๊าซหลากหลายชนิด
การดำเนินการตามกระบวนการต่างๆ เช่น การสร้างฟิล์มและการกัดในสุญญากาศที่มีสิ่งสกปรกเพียงเล็กน้อยช่วยให้ได้การบำบัดที่มีคุณภาพสูงขึ้น
・เพื่อลดจุดเดือด
การลดจุดเดือดทำให้เวเฟอร์ได้รับการรักษาที่อุณหภูมิต่ำ
แผ่นเวเฟอร์มีแนวโน้มที่จะเปลี่ยนรูปได้น้อยกว่าเมื่อควบคุมการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
สุดท้าย ไม่จำเป็นต้องสร้างหรือออกแบบอุปกรณ์การผลิตให้ทนต่ออุณหภูมิสูง
・เพื่อสร้างพลาสม่า
แรงดันที่ต่ำกว่ายังหมายความว่ากระแสไฟฟ้าที่ใช้สามารถลดลงได้
สูญญากาศยังช่วยให้สามารถสร้างพลาสมาในก๊าซหลากหลายชนิด
ประเภทของเครื่องดูดฝุ่น
จริงๆ แล้ว เครื่องดูดฝุ่นมีหลายประเภท
・สูญญากาศต่ำ: 100 kPa ถึง 100 Pa
・สุญญากาศปานกลาง: 100 Pa ถึง 0.1 Pa
・สูญญากาศสูง: 0.1 Pa ถึง 10-⁵ Pa
・สุญญากาศสูงพิเศษ: 10-⁵Pa หรือน้อยกว่า
・สูญญากาศต่ำ: 100 kPa ถึง 100 Pa
・สุญญากาศปานกลาง: 100 Pa ถึง 0.1 Pa
・สูญญากาศสูง: 0.1 Pa ถึง 10-⁵ Pa
・สุญญากาศสูงพิเศษ: 10-⁵Pa หรือน้อยกว่า
NBK มีผลิตภัณฑ์หลากหลายที่เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ
สกรูยึดเครื่องดูดฝุ่น
มีสกรูและแหวนรองที่รองรับการถ่ายเทก๊าซที่ติดอยู่ด้านล่างของรูสกรูหรือรูเจาะรูระบายอากาศบนสกรู NBK สำหรับอุปกรณ์สูญญากาศทำขึ้นโดยใช้วิธีการที่มีผลกระทบต่อโครงสร้างโลหะเพียงเล็กน้อย
พวกเขาสามารถปราบปรามการแตกหักที่เปราะระหว่างการใช้งานและการสร้างก๊าซนอกในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ
<สายผลิตภัณฑ์ที่หลากหลาย> คลิกที่นี่ เพื่อดูรายการสกรูสำหรับอุปกรณ์สูญญากาศทั้งหมดของเรา
・ก๊าซไอเสียต่ำ
ใช้สารเคมีขัดเงาแบบพิเศษเพื่อปรับปรุงความหยาบของพื้นผิว ปริมาณก๊าซออกต่ำมาก
วัสดุ | SUSXM7 (SUS304相当) |
ไทเทเนียม | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ชื่อชิ้นส่วน | สกรูหัว Cap พร้อมช่องระบายอากาศ | สกรูหัวพิมพ์แบบ Hex พร้อมรูระบายอากาศ - ไทเทเนี่ยม | สกรูหัวจม Hex Socket พร้อม Low Profile (ไททาเนียมมีรูระบายอากาศ) |
สกรูเครื่องไทเทเนียมหัวแบนแบบฝังฟิลลิปครอส (มีรูระบายอากาศ) |
สกรูเครื่องไทเทเนียมหัวกระทะแบบฝังฟิลลิปส์ครอส (มีรูระบายอากาศ) |
สกรูหัวจมหกเหลี่ยมไทเทเนียมพร้อมวงแหวนยึด |
สกรูหัวจมหกเหลี่ยมไทเทเนียมพร้อมวงแหวนยึด |
ส่วนจำนวน | SVSS-PC | SVST | SVSHT | SVFT | SVPT | SNSI1T |
SNSI3T |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
・วัสดุต่างๆ
มีวัสดุให้เลือกมากมาย รวมถึง Inconel ที่ทนต่อการกัดกร่อนสูง (เทียบเท่า) และ Hastelloy (เทียบเท่า) และไททาเนียมที่ไม่ใช่แม่เหล็ก
วัสดุ | SUS304・SUSXM7 (เทียบเท่า SUS304) |
SUS316L | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
ชื่อชิ้นส่วน | สกรูหัว Cap พร้อมช่องระบายอากาศ | สลักเกลียวหัวหกเหลี่ยม (มีรูระบายอากาศ) |
สกรูชุดซ็อกเก็ต Hex (มีรูระบายอากาศ) |
สกรูหัว Cap พร้อมช่องระบายอากาศ - SUS316L | สกรูฝาครอบหัวจม Hex แบบรวมเครื่องซักผ้าด้วย รูระบายอากาศ - สแตนเลสความแข็งแรงสูง |
สกรูหัวจม Hex Socket พร้อม Low Profile (SUS316L พร้อมรูระบายอากาศ) |
ส่วนจำนวน | SVSS | SVHS | SVTS | SVSL | SVSQLG | SVSHL |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ | คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
วัสดุ | เทียบเท่าอินโคเนล | โมลิบดีนัมบริสุทธิ์ | ฮาสเทลลอย เทียบเท่า | อลูมิเนียม | ไทเทเนียม | |
---|---|---|---|---|---|---|
ชื่อชิ้นส่วน | สกรูหัวจมหกเหลี่ยม (เทียบเท่า Inconel) พร้อมรูระบายอากาศ | สกรูฝาครอบหัวจมโมลิบดีนัม Hex พร้อมรูระบายอากาศ | สกรูหัวจมหกเหลี่ยม (เทียบเท่า Hastelloy C-22) พร้อมรูระบายอากาศ | สกรูหัวจมหกเหลี่ยม (เทียบเท่า Hastelloy C-276) พร้อมรูระบายอากาศ | สกรูหัวจมหกเหลี่ยมอลูมิเนียมพร้อมรูระบายอากาศ | สกรูหัวพิมพ์แบบ Hex พร้อมรูระบายอากาศ - ไทเทเนี่ยม |
ส่วนจำนวน | SVSI | SVSM | SVSH-C22 | SVSH-C276 | SVSA | SVST |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
・รูปทรงต่างๆ
มีรูปทรงให้เลือกหลากหลาย เช่น สกรูฝาปิดทรงต่ำ ผลิตภัณฑ์ที่มีเครื่องซักผ้า และสกรูยึด
ตัวอย่างรูปร่าง | สกรูที่มีรายละเอียดต่ำ | สกรูที่มีรายละเอียดต่ำพิเศษ | โพสต์หกเหลี่ยม | สกรูยึดยึด | พร้อมเครื่องซักผ้า | เครื่องซักผ้า |
---|---|---|---|---|---|---|
ชื่อชิ้นส่วน | สกรูหัวก้นที่มีรูระบายอากาศที่มีรูรั่วต่ำ | สกรูหัวก้นที่มีรูระบายอากาศที่มีรายละเอียดต่ำพิเศษ | โพสต์ Hex กับรูระบายอากาศ | สลักเกลียวชุดพร้อมรูระบายอากาศ | สกรูฝาครอบหัวจม Hex แบบรวมเครื่องซักผ้าพร้อมรูระบายอากาศ - สแตนเลสความแข็งแรงสูง Strength | เครื่องซักผ้าที่มีรูระบายอากาศ |
ส่วนจำนวน | SVLS | SVSHS | SHVAS | SCSS-VR | SVSQLG | SWAS-VF |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
・ป้องกันการยึดติด
ผลิตภัณฑ์ของเราเหมาะสำหรับการป้องกันการยึดติด
วัสดุ | SUS316L | SUSXM7 (เทียบเท่า SUS304) | SUSXM7 (เทียบเท่า SUS304) |
---|---|---|---|
ชื่อชิ้นส่วน | สกรูหัวจมหกเหลี่ยมพร้อมรูระบายอากาศ (พร้อมรูระบายอากาศ/การชุบแข็งพื้นผิว) |
สกรูหัวจมแบบซ็อกเก็ตพร้อมรูระบายอากาศ - MoS2 Shot | สกรูหัวจมแบบซ็อกเก็ตพร้อมรูระบายอากาศ / ชุบเงิน |
ส่วนจำนวน | SVSL-PN | SVSS-MOS | SVSS-AG |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
คลิกที่นี่ เพื่อดูรายการสกรูสำหรับอุปกรณ์สุญญากาศทั้งหมดของเรา
ผลิตภัณฑ์ก๊าซออกต่ำ
นอกจากสกรูสำหรับอุปกรณ์สูญญากาศแล้ว เรายังมีสกรูและข้อต่อแบบเอาท์แก๊สต่ำอีกด้วย・สกรู
ส่วนจำนวน | SPD-C | รัฐบาลทหารพม่า-H | SPE-C |
---|---|---|---|
วัสดุ | VESPEL® SP-1 | VESPEL® SCP-5000 | PEEK |
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ |
・ข้อต่อ
สามารถใช้ข้อต่อที่สามารถใช้งานในสภาพแวดล้อมพิเศษเช่นห้องทำความสะอาดสูญญากาศอุณหภูมิสูง (80 องศาเซลเซียสหรือสูงกว่า)
ชนิด | ข้อต่อท่อ | Oldham Coupling | ข้อต่อดิสก์ | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
รูปร่าง | |||||||
ส่วนจำนวน | XSTS | XWSS | MSXP | โมห์ | ซับ | XBWS* * * * | XBSS* * * * |
วัสดุ | SUS316L | SUS316L | PEEK | SUS303 Vespel ** SUSXM7 |
A2017 PEEK SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
วิธีการทำความสะอาด | ทำความสะอาดอัลตราโซนิก | ทำความสะอาดอัลตราโซนิก | ทำความสะอาดอัลตราโซนิก | ทำความสะอาดอัลตราโซนิก | ทำความสะอาดอัลตราโซนิก | ทำความสะอาดอัลตราโซนิก * | ทำความสะอาดอัลตราโซนิก * |
อนุภาคต่ำ | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | ○ | ○ |
สูญญากาศได้รับการสนับสนุน | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
หักค่าชดเชย | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
ทนความร้อนได้ | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
ทนสารเคมี | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ○ | ○ |
Zero Backlash | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ||
แรงบิดสูง | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
ความแข็งแรงสูงบิด | ◎ | ◎ | |||||
การปรับตำแหน่งที่อนุญาต | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
◎ :ดีเยี่ยม ○:ดีมาก △:อาจเกิดผงขัดขึ้นได้
* XBWS XBSS เป็นผลิตภัณฑ์ที่ไม่สะอาด มีบริการ ล้างทำความสะอาดและบรรจุภัณฑ์ ที่สะอาดเมื่อแจ้งความประสงค์
**VESPEL เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของบริษัท DuPont ในสหรัฐอเมริกา
คลีนรูม "บริการล้างห้องคลีนรูม / บริการบรรจุห้องคลีนรูม"
การล้างห้องปลอดเชื้อและการบรรจุในห้องปลอดเชื้อสามารถทำได้เพื่อให้สามารถใช้สิ่งของในห้องสุญญากาศหรือห้องปลอดเชื้อได้โดยตรงตัวอย่างการแก้ปัญหาตามกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ตัวอย่างการแก้ปัญหาถูกนำมาใช้โดยกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ก่อนดำเนินการ ที่นี่
หลังดำเนินการ ที่นี่
"อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ NBK" ย้อนหลัง
รายการ ที่นี่
การแนะนำสินค้า
ปรับปรุงการผลิต / ความสามารถทำงานได้
มาตรการความปลอดภัย / มาตรการป้องกัน
เครื่องมือกล
อุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
เครื่องจักรอาหาร
กระบวนการผลิตยานยนต์
อุปกรณ์ทางการแพทย์
อุปกรณ์ FA
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ NBK
สกรูพิเศษ
องค์ประกอบของเครื่องจักร