โลโก้ เอ็นบีเค

วันที่เผยแพร่: 15 มิ.ย. 2022 วันที่อัปเดต: 19 ธ.ค. 2023

ลำดับที่ 2: สภาพแวดล้อมสูญญากาศ

เทคโนโลยีสูญญากาศมักใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ไม่จำเป็นต้องใช้เครื่องดูดฝุ่นสำหรับอุปกรณ์ทั้งหมด ส่วนใหญ่จะต้องใช้สูญญากาศสำหรับอุปกรณ์ที่ใช้พลาสมาหรือลำแสงอิเล็กตรอน
ห้องสูญญากาศเป็นกล่องหรือห้องที่ได้รับการแปลงเป็นสภาพแวดล้อมสูญญากาศโดยใช้ปั๊มสุญญากาศ

ในที่นี้ เราขอแนะนำตัวอย่างการใช้สกรูสำหรับอุปกรณ์สูญญากาศ (ผลิตภัณฑ์พิเศษ) ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ

เหตุใดจึงต้องใช้เครื่องดูดฝุ่นสำหรับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

・เพื่อลดสิ่งเจือปนและปรับปรุงคุณภาพการตอบสนอง
การดำเนินการตามกระบวนการต่างๆ เช่น การสร้างฟิล์มและการกัดในสุญญากาศที่มีสิ่งสกปรกเพียงเล็กน้อยช่วยให้ได้การบำบัดที่มีคุณภาพสูงขึ้น

・เพื่อลดจุดเดือด
การลดจุดเดือดทำให้เวเฟอร์ได้รับการรักษาที่อุณหภูมิต่ำ
แผ่นเวเฟอร์มีแนวโน้มที่จะเปลี่ยนรูปได้น้อยกว่าเมื่อควบคุมการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
สุดท้าย ไม่จำเป็นต้องสร้างหรือออกแบบอุปกรณ์การผลิตให้ทนต่ออุณหภูมิสูง

・เพื่อสร้างพลาสม่า
แรงดันที่ต่ำกว่ายังหมายความว่ากระแสไฟฟ้าที่ใช้สามารถลดลงได้
สูญญากาศยังช่วยให้สามารถสร้างพลาสมาในก๊าซหลากหลายชนิด

ประเภทของเครื่องดูดฝุ่น

จริงๆ แล้ว เครื่องดูดฝุ่นมีหลายประเภท
・สูญญากาศต่ำ: 100 kPa ถึง 100 Pa
・สุญญากาศปานกลาง: 100 Pa ถึง 0.1 Pa
・สูญญากาศสูง: 0.1 Pa ถึง 10-⁵ Pa
・สุญญากาศสูงพิเศษ: 10-⁵Pa หรือน้อยกว่า

NBK มีผลิตภัณฑ์หลากหลายที่เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ


สกรูยึดเครื่องดูดฝุ่น

มีสกรูและแหวนรองที่รองรับการถ่ายเทก๊าซที่ติดอยู่ด้านล่างของรูสกรูหรือรูเจาะ

รูระบายอากาศบนสกรู NBK สำหรับอุปกรณ์สูญญากาศทำขึ้นโดยใช้วิธีการที่มีผลกระทบต่อโครงสร้างโลหะเพียงเล็กน้อย
พวกเขาสามารถปราบปรามการแตกหักที่เปราะระหว่างการใช้งานและการสร้างก๊าซนอกในสภาพแวดล้อมสูญญากาศ

<สายผลิตภัณฑ์ที่หลากหลาย> คลิกที่นี่ เพื่อดูรายการสกรูสำหรับอุปกรณ์สูญญากาศทั้งหมดของเรา
ก๊าซไอเสียต่ำ
ใช้สารเคมีขัดเงาแบบพิเศษเพื่อปรับปรุงความหยาบของพื้นผิว ปริมาณก๊าซออกต่ำมาก
 
 
วัสดุ SUSXM7
(SUS304相当)
ไทเทเนียม
ชื่อชิ้นส่วน สกรูหัว Cap พร้อมช่องระบายอากาศ สกรูหัวพิมพ์แบบ Hex พร้อมรูระบายอากาศ - ไทเทเนี่ยม สกรูหัวจม Hex Socket พร้อม Low Profile
(ไททาเนียมมีรูระบายอากาศ)
สกรูเครื่องไทเทเนียมหัวแบนแบบฝังฟิลลิปครอส
(มีรูระบายอากาศ)
สกรูเครื่องไทเทเนียมหัวกระทะแบบฝังฟิลลิปส์ครอส
(มีรูระบายอากาศ)
สกรูหัวจมหกเหลี่ยมไทเทเนียมพร้อมวงแหวนยึด
สกรูหัวจมหกเหลี่ยมไทเทเนียมพร้อมวงแหวนยึด
ส่วนจำนวน SVSS-PC SVST SVSHT SVFT SVPT SNSI1T
SNSI3T
  คลิกที่นี่ สำหรับรายการ

วัสดุต่างๆ
มีวัสดุให้เลือกมากมาย รวมถึง Inconel ที่ทนต่อการกัดกร่อนสูง (เทียบเท่า) และ Hastelloy (เทียบเท่า) และไททาเนียมที่ไม่ใช่แม่เหล็ก

 
วัสดุ SUS304・SUSXM7
(เทียบเท่า SUS304)
SUS316L
ชื่อชิ้นส่วน สกรูหัว Cap พร้อมช่องระบายอากาศ สลักเกลียวหัวหกเหลี่ยม
(มีรูระบายอากาศ)
สกรูชุดซ็อกเก็ต Hex
(มีรูระบายอากาศ)
สกรูหัว Cap พร้อมช่องระบายอากาศ - SUS316L สกรูฝาครอบหัวจม Hex แบบรวมเครื่องซักผ้าด้วย
รูระบายอากาศ - สแตนเลสความแข็งแรงสูง
สกรูหัวจม Hex Socket พร้อม Low Profile
(SUS316L พร้อมรูระบายอากาศ)
ส่วนจำนวน SVSS SVHS SVTS SVSL SVSQLG SVSHL

คลิกที่นี่ สำหรับรายการ คลิกที่นี่ สำหรับรายการ

 

 
วัสดุ เทียบเท่าอินโคเนล โมลิบดีนัมบริสุทธิ์ ฮาสเทลลอย เทียบเท่า อลูมิเนียม ไทเทเนียม
ชื่อชิ้นส่วน สกรูหัวจมหกเหลี่ยม (เทียบเท่า Inconel) พร้อมรูระบายอากาศ สกรูฝาครอบหัวจมโมลิบดีนัม Hex พร้อมรูระบายอากาศ สกรูหัวจมหกเหลี่ยม (เทียบเท่า Hastelloy C-22) พร้อมรูระบายอากาศ สกรูหัวจมหกเหลี่ยม (เทียบเท่า Hastelloy C-276) พร้อมรูระบายอากาศ สกรูหัวจมหกเหลี่ยมอลูมิเนียมพร้อมรูระบายอากาศ สกรูหัวพิมพ์แบบ Hex พร้อมรูระบายอากาศ - ไทเทเนี่ยม
ส่วนจำนวน SVSI SVSM SVSH-C22 SVSH-C276 SVSA SVST
  คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ

รูปทรงต่างๆ
มีรูปทรงให้เลือกหลากหลาย เช่น สกรูฝาปิดทรงต่ำ ผลิตภัณฑ์ที่มีเครื่องซักผ้า และสกรูยึด
   
ตัวอย่างรูปร่าง สกรูที่มีรายละเอียดต่ำ สกรูที่มีรายละเอียดต่ำพิเศษ โพสต์หกเหลี่ยม สกรูยึดยึด พร้อมเครื่องซักผ้า เครื่องซักผ้า
ชื่อชิ้นส่วน สกรูหัวก้นที่มีรูระบายอากาศที่มีรูรั่วต่ำ สกรูหัวก้นที่มีรูระบายอากาศที่มีรายละเอียดต่ำพิเศษ โพสต์ Hex กับรูระบายอากาศ สลักเกลียวชุดพร้อมรูระบายอากาศ สกรูฝาครอบหัวจม Hex แบบรวมเครื่องซักผ้าพร้อมรูระบายอากาศ - สแตนเลสความแข็งแรงสูง Strength เครื่องซักผ้าที่มีรูระบายอากาศ
ส่วนจำนวน SVLS SVSHS SHVAS SCSS-VR SVSQLG SWAS-VF
  คลิกที่นี่ สำหรับรายการ คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ สำหรับรายการ

ป้องกันการยึดติด
ผลิตภัณฑ์ของเราเหมาะสำหรับการป้องกันการยึดติด

 
วัสดุ SUS316L SUSXM7 (เทียบเท่า SUS304) SUSXM7 (เทียบเท่า SUS304)
ชื่อชิ้นส่วน สกรูหัวจมหกเหลี่ยมพร้อมรูระบายอากาศ
(พร้อมรูระบายอากาศ/การชุบแข็งพื้นผิว)
สกรูหัวจมแบบซ็อกเก็ตพร้อมรูระบายอากาศ - MoS2 Shot สกรูหัวจมแบบซ็อกเก็ตพร้อมรูระบายอากาศ / ชุบเงิน
ส่วนจำนวน SVSL-PN SVSS-MOS SVSS-AG

คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
คลิกที่นี่ เพื่ออ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับการยึด

คลิกที่นี่ เพื่อดูรายการสกรูสำหรับอุปกรณ์สุญญากาศทั้งหมดของเรา

ผลิตภัณฑ์ก๊าซออกต่ำ

นอกจากสกรูสำหรับอุปกรณ์สูญญากาศแล้ว เรายังมีสกรูและข้อต่อแบบเอาท์แก๊สต่ำอีกด้วย
สกรู
 
ส่วนจำนวน SPD-C รัฐบาลทหารพม่า-H SPE-C
วัสดุ VESPEL® SP-1 VESPEL® SCP-5000 PEEK
  คลิกที่นี่ สำหรับรายการ

 

ข้อต่อ

สามารถใช้ข้อต่อที่สามารถใช้งานในสภาพแวดล้อมพิเศษเช่นห้องทำความสะอาดสูญญากาศอุณหภูมิสูง (80 องศาเซลเซียสหรือสูงกว่า)

ชนิด ข้อต่อท่อ Oldham Coupling ข้อต่อดิสก์
รูปร่าง (SUS316L) - クランピン真空真空プププププププププププププププププププププププププププププププ (SUS316L) - クランピン真空真空プププププププププププププププププププププププププププププププ (PEEK) - クランピン真空真空ププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププ (ベリペル) - クランピン (ベリペル) - クリーンププププププププププププ (PEEK) - クランピン真空真空ププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププププ フレキシブルカップリング - ディスクタイプ - クランピングタイプ フレキシブルカップリング - シングルディスクタイプ - クランピングタイプ
ส่วนจำนวน XSTS XWSS MSXP โมห์ ซับ XBWS* * * * XBSS* * * *
วัสดุ SUS316L SUS316L PEEK SUS303
Vespel **
SUSXM7
A2017
PEEK
SUSXM7
SUS303
SUSXM7
SUS303
SUSXM7
วิธีการทำความสะอาด ทำความสะอาดอัลตราโซนิก ทำความสะอาดอัลตราโซนิก ทำความสะอาดอัลตราโซนิก ทำความสะอาดอัลตราโซนิก ทำความสะอาดอัลตราโซนิก ทำความสะอาดอัลตราโซนิก * ทำความสะอาดอัลตราโซนิก *
อนุภาคต่ำ
สูญญากาศได้รับการสนับสนุน
หักค่าชดเชย
ทนความร้อนได้
ทนสารเคมี
Zero Backlash    
แรงบิดสูง      
ความแข็งแรงสูงบิด          
การปรับตำแหน่งที่อนุญาต  

:ดีเยี่ยม ○:ดีมาก △:อาจเกิดผงขัดขึ้นได้
XBWS XBSS เป็นผลิตภัณฑ์ที่ไม่สะอาด มีบริการ ล้างทำความสะอาดและบรรจุภัณฑ์ ที่สะอาดเมื่อแจ้งความประสงค์
**VESPEL เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของบริษัท DuPont ในสหรัฐอเมริกา

คลิกที่นี่ เพื่อดูรายละเอียด

คลีนรูม "บริการล้างห้องคลีนรูม / บริการบรรจุห้องคลีนรูม"

การล้างห้องปลอดเชื้อและการบรรจุในห้องปลอดเชื้อสามารถทำได้เพื่อให้สามารถใช้สิ่งของในห้องสุญญากาศหรือห้องปลอดเชื้อได้โดยตรง

ตัวอย่างการแก้ปัญหาตามกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ตัวอย่างการแก้ปัญหาถูกนำมาใช้โดยกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ก่อนดำเนินการ ที่นี่
หลังดำเนินการ ที่นี่

"อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ NBK" ย้อนหลัง

รายการ ที่นี่

การแนะนำสินค้า ปรับปรุงการผลิต / ความสามารถทำงานได้ มาตรการความปลอดภัย / มาตรการป้องกัน เครื่องมือกล อุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องจักรอาหาร กระบวนการผลิตยานยนต์ อุปกรณ์ทางการแพทย์ อุปกรณ์ FA อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ NBK สกรูพิเศษ องค์ประกอบของเครื่องจักร