โลโก้ เอ็นบีเค

วันที่เผยแพร่: 17 มิ.ย. 2565 วันที่อัปเดต: 7 ต.ค. 2567

ลำดับที่ 3: กระบวนการทำความสะอาดแก๊สและเวเฟอร์

ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิต (ก๊าซชนิดพิเศษ) และสารทำความสะอาด (สำหรับขจัดสิ่งสกปรก) มักใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ข้อมูลการทดสอบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ของเรามีให้ใช้ฟรี โดยคำนึงถึงของเหลวเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงเหล่านี้


ก๊าซในกระบวนการคืออะไร?

ก๊าซเฉื่อยและก๊าซพิเศษ (รวมเรียกว่า "ก๊าซในกระบวนการ") มักใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งรวมถึงกระบวนการสร้างฟิล์มและกระบวนการกัดเซาะ
ก๊าซบางชนิดสามารถกัดกร่อนวัสดุสแตนเลส เช่น SUS304 ได้

＜ตัวอย่างก๊าซในกระบวนการ＞
โมโนไซเลน ซิลิคอนเตตระคลอไรด์ ซิลิคอนเตตระฟลูออไรด์ CFC-116 ฟอสฟอรัสเพนตาฟลูออไรด์
Arsine ดิซิเลน CFC-218 CFC-32 ทังสเตนเฮกซาฟลูออไรด์
ฟอสฟีน โบรอนไตรฟลูออไรด์ ไฮโดรเจนโบรไมด์ ไนตรัสออกไซด์ CFC-22
ไดโบราน โบรอนไตรคลอไรด์ คลอรีน ไตรคลอโรไซเลน CFC-123
เยอรมัน ไฮโดรเจนคลอไรด์ คลอรีนไตรฟลูออไรด์ ไททาเนียมเตตระคลอไรด์  
ไดคลอโรซิเลน สารแอมโมเนีย CFC-14 ไฮโดรเจนฟลูออไรด์  
ไฮโดรเจนซีลีไนด์ ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ CFC-23 ฟอสฟอรัสไตรฟลูออไรด์  

สารทำความสะอาดเวเฟอร์คืออะไร?

นอกจากนี้ยังมีกระบวนการที่ใช้สารทำความสะอาดพิเศษในการทำความสะอาดสิ่งสกปรกและสิ่งสกปรกจากแผ่นเวเฟอร์
สารทำความสะอาด เช่น SPM (สารละลายน้ำกรดไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ของกรดซัลฟิวริก) และ FPM (สารละลายน้ำกรดไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ของกรดไฮโดรฟลูออริก) อาจละลายสแตนเลสและโลหะอื่นๆ ได้

＜ตัวอย่างน้ำยาทำความสะอาด＞
SC-1 (สารละลายน้ำแอมโมเนียไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์)
SC-2 (สารละลายน้ำกรดไฮโดรคลอริกไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์)
SPM (สารละลายน้ำกรดซัลฟิวริกไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์)
FPM (สารละลายน้ำไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์กรดไฮโดรฟลูออริก)
BHF (สารละลายกรดไฮโดรฟลูออริกบัฟเฟอร์)

NBK นำเสนอสกรูที่ทนต่อสารเคมีพร้อมความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม

สามารถใช้งานได้แม้ในสภาพแวดล้อมที่อาจสัมผัสกับก๊าซในกระบวนการหรือสารทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์
ดูรายชื่อผลิตภัณฑ์สกรูทนสารเคมีทั้งหมดของเราได้ที่นี่
*ความทนทานต่อสารเคมีเปลี่ยนแปลงไปตามสภาพการใช้งาน ทำการทดสอบภายใต้สภาวะการทำงานที่คล้ายกับสภาวะจริงล่วงหน้าเสมอ

สกรูทนสารเคมี

เมทัลลิค
 
วัสดุ แทนทาลัม MAT21 ＊1 ฮาสเตลลอย ＊2 C-22 ฮาสเตลลอยซี ＊ 2-276 อินโคเนล *3 นิกเกิล
ชื่อชิ้นส่วน สกรูหัวจมหกเหลี่ยม (แทนทาลัม) สกรูหัวหกเหลี่ยม (MAT21 *1 ) สกรูหัวจมหกเหลี่ยม - Hastelloy ＊2 เทียบเท่า C-22 สกรูหัวจมหกเหลี่ยม - Hastelloy ＊2 เทียบเท่า C-276 สกรูหัวจมหกเหลี่ยม - Inconel ＊3 เทียบเท่า สกรูหัวพิมพ์แบบ Hex - นิกเกิล
ส่วนจำนวน SNSTA SNSMT SNSH-C22 SNSH-C276 SNSI SNSN
  คลิกที่นี่ สำหรับรายการ คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
＊1：MAT และ MAT21 เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Proterial, Ltd.
＊2：Hastelloy เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Haynes International, Inc.
＊3：Inconel เป็นเครื่องหมายการค้าจดทะเบียนของ Special Metals Corporation


 
วัสดุ SUS316L SUS310S ไทเทเนียม
ชื่อชิ้นส่วน สกรูหัวพิมพ์ซ็อกเก็ต - SUS316L สกรูหัวพิมพ์ซ็อกเก็ต - SUS310S หัวเทียนซ็อกเก็ตซ็อกเก็ต Hex - High Intensity Titanium Alloy
ส่วนจำนวน SNSL SNSJ SNSTG
  คลิกที่นี่ สำหรับรายการ คลิกที่นี่ สำหรับรายการ

เซรามิก/เรซิน
 
วัสดุ ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) Al2O3 (99.5％ อลูมินา) PEEK GF30 PEEK PTFE PFA (เปอร์ฟลูออโรอัลค็อกซีอัลเคน)
ชื่อชิ้นส่วน สกรูหัวแฉกแบบ Slotted (ซิลิกอนคาร์ไบด์) สลักเกลียวหัวซ็อกเก็ต Hex เซรามิก สกรูพลาสติก - สกรูหัวหกเหลี่ยม - PEEK GF30 สกรูพลาสติก - สกรูหัวกลมแบบฝังลอน - PEEK สกรูพลาสติก - สกรูหัวหกเหลี่ยม - PTFE สกรูพลาสติก - สกรูหัว Hex - PFA
ส่วนจำนวน SICX-SX SCX-C SPEG-C SPE-P SPT-H SPFA-H
  คลิกที่นี่ สำหรับรายการ คลิกที่นี่ สำหรับรายการ

ข้อมูลการทดสอบความทนทานต่อสารเคมีของซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ของเรามีให้ใช้ฟรี


รูปร่างพิเศษ
 
วัสดุ Al2O3 (99.5％ อลูมินา) ไฟเบอร์ (Polytetrafluoroethylene) SUSXM7 (เทียบเท่า SUS304) SUSXM7 (เทียบเท่า SUS304) การเคลือบ PTFE (เฉพาะส่วนหัว)
ชื่อชิ้นส่วน ฝาปิด ฝาครอบ - PTFE สกรูฝาครอบหัวครอบสำหรับฝาปิด สกรูหัวหกเหลี่ยม - การเคลือบ PFA สำหรับหัว
ส่วนจำนวน SCAP-CE SCAP-PT SNCPS SNHS-HTF
  คลิกที่นี่ สำหรับรายการ คลิกที่นี่ สำหรับรายการ
*ใช้ร่วมกับฝาครอบ (SCAP-CE หรือ SCAP-PT) และสกรูฝาครอบหัวซ็อกเก็ตสำหรับฝาครอบ (SNCPS)

ตัวอย่างการแก้ปัญหาตามกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ตัวอย่างการแก้ปัญหาถูกนำมาใช้โดยกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ก่อนดำเนินการ ที่นี่
หลังดำเนินการ ที่นี่

การแนะนำสินค้า อภิธานศัพท์ ทนความร้อน / ต้านทานการกัดกร่อน คลีนรูม / สูญญากาศ / ไม่ใช่แม่เหล็ก อุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และ NBK สกรูพิเศษ